FFU層流罩之潔凈室亂流式：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。　　
　　
        優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

    FFU層流罩之集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng)是無(wú)塵凈化工程的潔凈設(shè)備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)等）集中設(shè)計(jì)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，用風(fēng)管將潔凈空氣送進(jìn)各個(gè)潔凈室。分散式潔凈空調(diào)系統(tǒng)是在一般的空調(diào)環(huán)境或低級(jí)別潔凈空調(diào)環(huán)境中，設(shè)置凈化設(shè)備或潔凈空調(diào)設(shè)備（如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺(tái)等）.在半導(dǎo)體芯片工廠或其他生產(chǎn)過(guò)程要求高潔凈度的潔凈廠房中，其潔凈空調(diào)系統(tǒng)采用循環(huán)空氣方式，其循環(huán)方式主要有集中式、隧道式、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單（FFU）方式和微環(huán)境+開放式潔凈室方式等。這些送風(fēng)方式既可以滿足高潔凈度要求，還可以不同程度地減小能耗。

　  LED/液晶/線路板制造是一種高度精密化的工業(yè)，一些細(xì)微的環(huán)境或操作變動(dòng)都有可能影響其制造成品的質(zhì)量，因此制造過(guò)程均要求在嚴(yán)格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個(gè)采用層層過(guò)濾以去除空氣中微粒存在，并控制室內(nèi)溫度與濕度于恒定狀態(tài)的密閉空間。


經(jīng)營(yíng)：無(wú)塵凈化工程   實(shí)驗(yàn)室凈化工程   通風(fēng)凈化工程